AS ONE 單一晶圓運輸容器 SS系列

型號：SS50套組
尺寸（mm）：63×63×14
適用晶圓直徑（mm）：φ50（2″）
材質：蓋子/外殼/PC（聚碳酸酯）、墊子/PBT（聚對苯二甲酸丁二醇酯）
套組內容：本體、蓋子、彈簧各1個

型號：SS75套組
尺寸（mm）：91×91×14
適用晶圓直徑（mm）:φ75（3″）
材質：蓋子/外殼/PC（聚碳酸酯）、墊子/PBT（聚對苯二甲酸丁二醇酯）
套組內容：本體、蓋子、彈簧各1個

型號：SS100套組
尺寸（mm）：112×112×15
適用晶圓直徑（mm）：φ100（4″）
材質：蓋子/外殼/PC（聚碳酸酯）、墊子/PBT（聚對苯二甲酸丁二醇酯）
套組內容：本體、蓋子、彈簧各1個

型號：SS300套組
尺寸（mm）：339x339x43
適用晶圓直徑（mm）:φ300（12″）
材質：蓋子/外殼/PC（聚碳酸酯）、墊子/墊圈/彈性體
套組內容：本體、蓋子、彈簧各1個